關(guān)于臺(tái)式掃描電鏡如何選擇合適的加速電壓值的建議
日期:2022-10-09 09:43:08 瀏覽次數(shù):216
臺(tái)式掃描電鏡速度快,信號(hào)采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實(shí)時(shí)的顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作,不需對(duì)中光闌等復(fù)雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng),體積小巧,便于移動(dòng),可出差攜帶,安裝無需特殊環(huán)境,只需找一張桌子,供電就可工作。
那么在實(shí)際工作中要采集到一幅好照片,除了要有好的臺(tái)式掃描電鏡設(shè)備之外,選擇合適的加速電壓值也是很重要的一步。選擇高、低不同的加速電壓各有不同的優(yōu)缺點(diǎn),通常應(yīng)根據(jù)試樣的組分和分析目的的不同來考慮,即金屬試樣一般會(huì)選擇較高的加速電壓,輕元素組成的試樣一般會(huì)選擇較低的加速電壓。
①選擇低加速電壓的優(yōu)點(diǎn):臺(tái)式掃描電鏡圖像的成像信息來源越趨于表面,圖像的表面細(xì)節(jié)就越顯得豐富、細(xì)膩,特別是會(huì)明顯減少邊緣效應(yīng),使得到的圖像顯得更協(xié)調(diào)、柔和。另外,低加速電壓、小束斑對(duì)試樣表面的損傷小,不容易造成試樣的荷電和圖像的漂移,也會(huì)減輕對(duì)試樣的損傷。
②選擇低加速電壓的缺點(diǎn):加速電壓越低,電子束的波長(zhǎng)越長(zhǎng),越不容易得到高分辨力的圖像,所以低加速電壓僅適合于拍攝放大倍率不太高的圖像,還有信噪也比較差,抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也較弱,對(duì)試樣表層所受的污染會(huì)變得更敏感,所以不易得到高清晰和高分辨力的圖像。
③選擇高加速電壓的優(yōu)點(diǎn):加速電壓越高入射電子束的波長(zhǎng)越短,也就越容易得到高分辨力的圖像,還有抗外部電磁場(chǎng)的干擾能力也會(huì)增強(qiáng),也不易受到試樣表層污染斑的影響,所以高的加速電壓比較適合拍攝高倍率的圖像。
④選擇高加速電壓的缺點(diǎn):所獲得的圖像會(huì)缺少表面信息和細(xì)節(jié),易呈現(xiàn)高反差,特別是會(huì)明顯變大邊緣效應(yīng),使得到的圖像欠柔和,也會(huì)使圖像容易呈現(xiàn)生硬的感覺。另外,高的加速電壓、大的束斑也容易造成試樣的放電和損傷,以及圖形的漂移。
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