SEM掃描電鏡能測出線寬的真實長度嗎?
日期:2024-06-27 09:33:56 瀏覽次數:72
掃描電鏡能夠測出線寬的真實長度。但要實現這一功能,需要滿足一定的條件和步驟:
SEM掃描電鏡設備的應用:掃描電鏡自問世以來,已成為許多科學和工業(yè)領域的重要研究工具。特別是在半導體行業(yè),SEM掃描電鏡的定量應用主要體現在測量或計量上。隨著技術的發(fā)展,CD-SEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope,關鍵尺寸掃描電子顯微鏡)已被用作半導體加工生產線上的主要測量工具,用于監(jiān)控生產過程。
測量步驟:
標定尺度:在掃描電鏡下選擇一個需要測量的對象,如線寬。然后,在掃描電鏡軟件中打開測量工具,并選中“標尺”或“標度”工具。在圖像中選擇一段已知長度的線段,并在軟件中設定其實際長度。根據已知長度和圖像顯示的長度計算出比例系數。
選擇測量工具:使用主流的掃描電鏡軟件提供的線段長度測量工具,根據已進行的標度尺尺度標定得到實際長度值。
設置參數:根據需要設置分辨率、照射電壓、放大倍數和顯示單位等參數。這些參數的選擇會影響測量的精度和效率。
進行測量:在圖像中選擇需要測量的部位,進行測量并記錄結果。
測量精度:大部分SEM掃描電鏡實驗室對于納米尺寸的準確測量要求可能不那么嚴格,例如線寬或顆粒大小的具體數值(如105nm或95nm)可能不是*重要的。但在半導體領域,這樣的誤差是不可接受的。因此,為了獲得更高的測量精度,需要選擇適合的掃描電鏡設備和測量方法,并進行準確的尺度標定和參數設置。
綜上所述,SEM掃描電鏡能夠測出線寬的真實長度,但需要滿足一定的條件和步驟。在半導體等領域,通過使用CD-SEM等高精度設備和方法,可以獲得更加準確和可靠的測量結果。
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