如何在SEM掃描電鏡中準備和處理樣品?
日期:2023-10-23 10:46:32 瀏覽次數:35
在掃描電鏡中準備和處理樣品是確保獲得高質量圖像和準確數據的關鍵步驟。以下是一般的樣品準備和處理步驟:
樣品選擇: 首先,您需要選擇適合掃描電鏡觀察的樣品。樣品通常應具有導電性或需要導電性涂層,因為電子束需要與樣品表面相互作用才能產生圖像。
樣品固定: 樣品需要在觀察期間保持固定,以防止運動或振動影響圖像質量。樣品可以使用適當的夾具、支架或膠粘劑固定到樣品臺上。
導電性涂層: 如果樣品本身不導電,您可能需要對其進行導電性涂層。通常使用金屬涂層(如金或鉑)或碳涂層,以確保電子束可以通過樣品并產生清晰的圖像。
樣品切割和磨削: 如果樣品過大或太厚,可能需要切割或磨削以獲得所需的形狀和厚度。這通常需要使用適當的切割工具和磨削設備。
樣品干燥: 樣品在進入SEM掃描電鏡之前須保持干燥,以防止水分對電子束產生干擾。使用氣體流、真空或化學方法來去除任何殘留的水分。
金屬涂層: 如果需要,可以將樣品表面涂覆薄薄的金屬層。這有助于提高導電性和圖像質量。
安裝樣品: 樣品準備好后,將其小心地安裝到掃描電鏡樣品臺上,并確保固定牢固。
真空抽取: SEM掃描電鏡需要在真空環境中操作,因此須抽取空氣,以確保電子束不會與氣體分子發生碰撞。在掃描電鏡中建立所需的真空需要時間,通常需要一段預熱時間。
參數設置: 在開始圖像采集之前,需要根據樣品的特性和實驗目的調整掃描電鏡的參數,包括加速電壓、電流、對焦和掃描速度。
圖像采集: 一旦樣品準備和SEM掃描電鏡參數設置完成,就可以開始采集圖像。可以選擇不同的檢測模式,如二次電子成像或反射電子成像,以獲取不同類型的信息。
數據分析: 處理和分析獲得的掃描電鏡圖像和數據,以滿足您的研究或分析目的。
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