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影響SEM掃描電鏡成像的幾大要素介紹

日期:2023-10-08 09:25:15 瀏覽次數:35

1、分辨率     

影響掃描電鏡的分辨本領的主要因素有:A. 入射電子束束斑直徑;B. 入射電子束在樣品中的擴展效應;C. 成像方式及所用的調制信號。

掃描電鏡.jpg

2、放大倍數       

Sem掃描電鏡的放大倍數可表示為M =Ac/As式中,Ac—熒光屏上圖像的邊長;As—電子束在樣品上的掃描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常為100 mm),則可通過改變As 來改變放大倍數。目前,大多數商品掃描電鏡放大倍數為20~20,000倍,介于光學顯微鏡和透射電鏡之間,即SEM掃描電鏡彌補了光學顯微鏡和透射電鏡放大倍數的空擋。

3、景深       

掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大,所得掃描電子像富有立體感。

4、襯度。襯度包括:表面形貌襯度和原子序數襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。