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SEM掃描電鏡樣品制備之樣品熱穩性要好，且不會被電子束分解

日期：2023-07-17 13:43:31 瀏覽次數：45

電子束下樣品熱穩性要好，且不會被電子束分解。在掃描電鏡正常觀察圖像時，電子探針的束流通常為 nA 級別，所以對于大多數樣品，受熱不是問題。但對一些熱敏材料會出現損傷，觀察部位出現起泡、龜裂、孔洞(熱損傷)，甚至有些樣品在高溫下分解，釋放氣體或物質(熱分解)，當他們進入電鏡內部，勢必會影響電鏡性能，甚至引起故障。

 掃描電鏡.jpg

解決方案：

這類樣品多為生物和有機聚合物樣品，在表面鍍膜可以提高樣品的穩定性，觀察時也盡量選擇較小加速電壓和束流強度，以減少電子束對樣品的損傷。