臺式掃描電鏡是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態。sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

臺式掃描電鏡是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。sem掃描電鏡可以直接觀察觀察納米材料，進行材料斷口的分析，直接觀察原始表面等。

sem掃描電鏡是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。試樣制備簡單，目前的sem掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析（即SEM－EDS），因此它是當今十分重要的科學研究儀器之一。

所謂納米材料，是指材料的顆粒或微晶尺寸在0.1－100nm范圍內，在保持表面清潔的條件下，通過壓制形成的固體材料納米材料具有許多不同于晶態和非晶態的物理和化學性質納米材料具有廣闊的發展前景，將成為未來材料研究的sem掃描電鏡的一個重要特點是分辨率高現在它被廣泛用于觀察納米材料。

臺式掃描電鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品，不受樣品形狀的限制，也可以觀察到粗糙的表面，避免了樣品制備的麻煩并能真實觀察樣品本身不同物質成分的對比度（背反射電子圖像）。